Technologie potrubí vysoce čistého plynu je důležitou součástí systému dodávky vysoce čistého plynu, což je klíčová technologie pro dodání požadovaného vysoce čistého plynu na místo použití při zachování kvalifikované kvality;Technologie potrubí vysoce čistého plynu zahrnuje správný návrh systému, výběr armatur a příslušenství, konstrukci a instalaci a testování.Stále přísnější požadavky na čistotu a obsah nečistot ve vysoce čistých plynech při výrobě produktů mikroelektroniky reprezentovaných rozsáhlými integrovanými obvody vedly v posledních letech ke stále většímu zájmu a zdůrazňování potrubní techniky vysoce čistých plynů.Následuje stručný přehled potrubí vysoce čistého plynu z výběru materiáluof konstrukce, stejně jako přejímka a každodenní řízení.
Druhy běžných plynů
Klasifikace běžných plynů v elektronickém průmyslu：
Běžné plyny(Plyn ve velkém）: vodík (H2), dusík (N2), kyslík (O2), argon (A2), atd.
Speciální plynyjsou SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… atd.
Typy speciálních plynů lze obecně klasifikovat jako žíravéplyn, toxickýplyn, hořlavýplyn, hořlavýplyn, inertníplyn, atd. Běžně používané polovodičové plyny jsou obecně klasifikovány následovně.
(i) Žíravý/toxickýplyn: HC1, BF3, WF6HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, Bc3…atd.
(ii) Hořlavostplyn: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO… atd.
iii) hořlavostplyn: O2, Cl2, N2O, NF3… atd.
(iv) Inertníplyn: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, He…atd.
Mnoho polovodičových plynů je škodlivých pro lidské tělo.Zejména některé z těchto plynů, jako je SiH4 samovznícení, pokud únik bude prudce reagovat s kyslíkem ve vzduchu a začne hořet;a AsH3vysoce toxický, jakýkoli nepatrný únik může způsobit ohrožení lidského života, je to kvůli těmto zjevným nebezpečím, takže požadavky na bezpečnost návrhu systému jsou obzvláště vysoké.
Rozsah použití plynů
Jako důležitá základní surovina moderního průmyslu se široce používají plynové produkty a velké množství běžných plynů nebo speciálních plynů se používá v metalurgii, oceli, ropě, chemickém průmyslu, strojírenství, elektronice, skle, keramice, stavebních materiálech, stavebnictví. , zpracování potravin, lékařství a lékařství.Aplikace plynu má významný dopad na špičkovou technologii zejména těchto oborů a je jeho nepostradatelnou surovinou plyn nebo procesní plyn.Pouze s potřebami a podporou různých nových průmyslových odvětví a moderní vědy a techniky mohou být produkty plynárenského průmyslu vyvíjeny mílovými kroky, pokud jde o rozmanitost, kvalitu a kvantitu.
Aplikace plynu v mikroelektronice a polovodičovém průmyslu
Použití plynu vždy hrálo důležitou roli v polovodičovém procesu, zejména polovodičový proces byl široce používán v různých průmyslových odvětvích, od tradičního ULSI, TFT-LCD až po současný mikro-elektro-mechanický (MEMS) průmysl, všechny které využívají jako výrobní proces výrobků tzv. polovodičový proces.Čistota plynu má rozhodující vliv na výkonnost komponent a výtěžnost produktu a bezpečnost dodávky plynu souvisí se zdravím personálu a bezpečností provozu elektrárny.
Význam potrubí o vysoké čistotě v dopravě vysoce čistého plynu
Při procesu tavení a výroby materiálu z nerezové oceli může být absorbováno asi 200 g plynu na tunu.Po zpracování nerezové oceli nejen její povrch lepkavý různými nečistotami, ale i kovová mřížka absorbovala určité množství plynu.Když potrubím proudí vzduch, kov absorbuje tuto část plynu a znovu vstoupí do proudu vzduchu a znečišťuje čistý plyn.Když je proud vzduchu v trubici přerušovaný, trubice adsorbuje plyn pod tlakem, a když proud vzduchu přestane procházet, plyn adsorbovaný trubicí vytvoří pokles tlaku, který se rozpustí, a rozpuštěný plyn také vstoupí do čistého plynu v trubici. jako nečistoty.Zároveň se adsorpce a rozlišení opakuje, takže kov na vnitřním povrchu trubice také produkuje určité množství prášku a tyto částice kovového prachu také znečišťují čistý plyn uvnitř trubice.Tato vlastnost trubky je zásadní pro zajištění čistoty dopravovaného plynu, což vyžaduje nejen velmi vysokou hladkost vnitřního povrchu trubky, ale také vysokou odolnost proti opotřebení.
Pokud se používá plyn se silným korozním účinkem, musí být pro potrubí použity nerezové trubky odolné proti korozi.V opačném případě trubka vytvoří na vnitřním povrchu korozní skvrny v důsledku koroze a ve vážných případech dojde k velké ploše odizolování kovu nebo dokonce perforaci, která kontaminuje čistý plyn, který má být distribuován.
Propojení vysoce čistých a vysoce čistých přepravních a distribučních plynovodů velkých průtoků.
V zásadě jsou všechny svařované a u použitých trubek se vyžaduje, aby se při svařování nezměnily v organizaci.Materiály s příliš vysokým obsahem uhlíku podléhají při svařování vzduchové propustnosti svařovaných dílů, což způsobuje vzájemné pronikání plynů uvnitř i vně potrubí a ničí čistotu, suchost a čistotu přenášeného plynu, což má za následek ztrátu veškeré naše úsilí.
Souhrnně lze říci, že pro plynovod o vysoké čistotě a pro přepravu speciálního plynu je nutné použít speciální úpravu potrubí z nerezové oceli o vysoké čistotě, aby byl vyroben potrubní systém o vysoké čistotě (včetně potrubí, armatur, ventilů, VMB, VMP) v vysoce čistý rozvod plynu zaujímá zásadní poslání.
Obecná koncepce čisté technologie pro přepravní a distribuční potrubí
Vysoce čistý a čistý přenos tělesem plynu s potrubím znamená, že existují určité požadavky nebo kontroly pro tři aspekty plynu, který má být přepravován.
Čistota plynu: Obsah znečištěné atmosféry v gČistota plynu: Obsah znečištěné atmosféry v plynu, obvykle vyjádřený jako procento čistoty plynu, jako je 99,9999 %, také vyjádřený jako objemový poměr obsahu znečištěné atmosféry ppm, ppb, ppt.
Suchost: množství stopové vlhkosti v plynu nebo množství nazývané vlhkost, obvykle vyjádřené jako rosný bod, jako je rosný bod při atmosférickém tlaku -70.C.
Čistota: počet částic nečistot obsažených v plynu, velikost částic µm, kolik částic/M3 vyjádřit, pro stlačený vzduch, obvykle také vyjádřeno v počtu mg/m3 nevyhnutelných pevných zbytků, které pokrývají obsah oleje .
Klasifikace velikosti znečišťujících látek: částice znečišťujících látek, zejména se týká praní potrubí, opotřebení, koroze generované kovovými částicemi, částicemi atmosférických sazí, stejně jako mikroorganismy, fágy a kapičky kondenzace plynu obsahující vlhkost atd., podle velikosti jejich částic je rozdělen do
a) Velké částice – velikost částic nad 5μm
b) Částice – průměr materiálu mezi 0,1μm-5μm
c) Ultra-mikročástice – velikost částic menší než 0,1μm.
Aby se zlepšila aplikace této technologie, aby bylo možné percepčně porozumět velikosti částic a jednotkám μm, je pro referenci poskytnuta sada konkrétního stavu částic.
Následuje srovnání konkrétních částic
| Název / Velikost částic (µm) | Název / Velikost částic (µm) | Název/ Velikost částic (µm) |
| Virus 0,003-0,0 | Aerosol 0,03-1 | Aerosolizovaná mikrokapička 1-12 |
| Jaderné palivo 0,01-0,1 | Barva 0,1-6 | Popílek 1-200 |
| Saze 0,01-0,3 | Sušené mléko 0,1-10 | Pesticid 5-10 |
| Pryskyřice 0,01-1 | Bakterie 0,3-30 | Cementový prach 5-100 |
| Cigaretový kouř 0,01-1 | Pískový prach 0,5-5 | Pyl 10-15 |
| Silikon 0,02-0,1 | Pesticid 0,5-10 | Lidské vlasy 50-120 |
| Krystalizovaná sůl 0,03-0,5 | Koncentrovaný sirný prach 1-11 | Mořský písek 100-1200 |
Čas odeslání: 14. června 2022