Technologie plynového potrubí s vysokým obsahem čistoty je důležitou součástí systému dodávek plynu s vysokou čistotou, což je klíčovou technologií pro dodávání požadovaného vysoce čistého plynu do bodu použití a stále udržování kvalifikované kvality; Technologie plynového potrubí s vysokou mírou zahrnuje správný návrh systému, výběr armatur a příslušenství, konstrukci a instalaci a testování. V posledních letech se stále přísnější požadavky na obsah čistoty a nečistot ve vysoce čistých plynech při výrobě mikroelektronických produktů představovaných rozsáhlými integrovanými obvody stále více znepokojují a zdůrazňují a zdůrazňují. Následuje stručný přehled o vysoce čistém plynovém potrubí z výběru materiáluof stavba, stejně jako přijetí a každodenní řízení.
Typy běžných plynů
Klasifikace běžných plynů v elektronickém průmyslu：
Běžné plyny„Hromadný plyn）: vodík (h2), dusík (n2), kyslík (o2), argon (a2), atd.
Speciální plynyjsou SIH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,Hcl,CF4 ,NH3,POCl3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, Bcl3 ,Sif4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,Hf,HBR SF6…… atd.
Typy speciálních plynů lze obecně klasifikovat jako korozivníplyn, toxicképlyn, hořlavýplyn, hořlavýplyn, inertníplyna atd. běžně používané polovodičové plyny jsou obecně klasifikovány takto.
(i) Korozivní / toxickýplyn: Hcl, bf3, Wf6, HBR, SIH2Cl2, Nh3, Ph3, Cl2, Bcl3…atd.
(ii) Hořlavostplyn: H2, Ch4, SIH4, Ph3, Ash3, SIH2Cl2, B2H6, CH2F2,Ch3F, CO ... atd.
(iii) hořlavostplyn: O2, Cl2, N2O, nf3… Atd.
(iv) inertníplyn: N2, Srov4C.2F6C.4F8,SF6, Co2, Ne, Kr, on ... atd.
Mnoho polovodičových plynů je pro lidské tělo škodlivé. Zejména některé z těchto plynů, jako je SIH4 Spontánní spalování, pokud únik bude násilně reagovat s kyslíkem ve vzduchu a začne hořet; a Ash3Vysoce toxický, jakýkoli mírný únik může způsobit riziko lidského života, je to kvůli těmto zjevným nebezpečím, takže požadavky na bezpečnost návrhu systému jsou zvláště vysoké.
Aplikační rozsah plynů
Jako důležitá základní surovina moderního průmyslu se široce používají plynové výrobky a v metalurgii, oceli, oceli, chemickém průmyslu, stroji, elektronice, sklenici, keramice, výstavbě, medicíně a lékařských sektorech se používá velké množství běžných plynů nebo speciálních plynů. Aplikace plynu má důležitý dopad zejména na vysokou technologii těchto oblastí a je to nezbytný plyn nebo procesní plyn suroviny. Pouze s potřebami a propagací různých nových průmyslových odvětví a moderní vědy a technologie mohou být produkty plynárenského průmyslu vyvíjeny skoky a hranicemi z hlediska rozmanitosti, kvality a množství.
Aplikace plynu v mikroelektronice a polovodičovém průmyslu
Použití plynu vždy hrálo důležitou roli v polovodičovém procesu, zejména v polovodičovém procesu byl široce používán v různých průmyslových odvětvích, od tradičního ULSI, TFT-LCD po současný mikroelektromechanický (MEMS) odvětví, z nichž všechny používají takzvaný polovodičový proces jako výrobní proces. Čistota plynu má rozhodující dopad na výkonnost komponent a výnosů produktů a bezpečnost dodávky plynu souvisí se zdravím personálu a bezpečností provozu rostlin.
Význam vysoce čistého potrubí při přepravě plynu s vysokou čistotou
V procesu tání z nerezové oceli a výroby materiálu může být asi 200 g plynu absorbováno na tunu. Po zpracování nerezové oceli nejen její povrch lepkavý různými kontaminanty, ale také v jeho kovové mřížce také absorboval určité množství plynu. Když dojde k proudu vzduchu, kov absorbuje tuto část plynu znovu vstup do proudu vzduchu a znečišťuje čistý plyn. Když je proudění vzduchu ve zkumavce diskontinuální tok, trubice adsorbuje plyn pod tlakem, a když přestávka vzduchu přestane procházet, plyn adsorbovaný trubicí tvoří pokles tlaku k rozlišení a rozlišený plyn také vstupuje do čistého plynu ve zkumavce jako nečistoty. Současně se opakuje adsorpce a rozlišení, takže kov na vnitřním povrchu trubice také vytváří určité množství prášku a tyto částice kovového prachu také znečišťují čistý plyn uvnitř trubice. Tato charakteristika trubice je nezbytná pro zajištění čistoty transportovaného plynu, což vyžaduje nejen velmi vysokou hladkost vnitřního povrchu trubice, ale také vysoký odpor opotřebení.
Při použití plynu se silným korozivním výkonem musí být pro potrubí použity potrubí z nerezové oceli odolné proti korozi. Jinak bude potrubí produkovat korozní skvrny na vnitřním povrchu kvůli korozi a ve vážných případech bude velká plocha stripování kovů nebo dokonce perforace, která bude kontaminovat čistý plyn, který má být distribuován.
Spojení a distribuce plynu s vysokou čistotou a vysokou čistotou plynného plynu s velkým průtokem.
V zásadě jsou všechny z nich svařovány a použité zkumavky se při použití svařování nezměnily v organizaci. Materiály s příliš vysokým obsahem uhlíku podléhají propustnosti vzduchu svařovaných částí při svařování, což způsobuje vzájemné pronikání plynů uvnitř i vně potrubí a ničí čistotu, suchost a čistotu přenášeného plynu, což vede ke ztrátě všech našich úsilí.
Stručně řečeno, u plynovodu s vysoce čistým plynem a speciálním přenosem plynu je nutné použít zvláštní ošetření z nerezové oceli s vysokou čistotou, aby se vytvořilo plynovodový systém s vysokou čistí (včetně potrubí, armatur, ventilů, VMB, VMP) v distribuci plynu s vysokou čistotou zabírá vitální misi.
Obecný koncept čisté technologie pro přenosové a distribuční potrubí
Vysoce čistý a čistý přenos těla plynu s potrubí znamená, že existují určité požadavky nebo ovládací prvky, které mají být transportovány tři aspekty plynu.
Čistota plynu: Obsah atmosféry nečistoty v čistotě GGAS: Obsah atmosféry nečistoty v plynu, obvykle vyjádřený jako procento čistoty plynu, jako je 99,9999%, také exprimoval jako objem poměru obsahu nečistoty atmosféry PPM, PPB, PPT.
Suchost: Množství stopové vlhkosti v plynu nebo množství zvané vlhkost, obvykle vyjádřené z hlediska bodu rosy, jako je bod rosy atmosférického tlaku -70. C.
Čistota: Počet částic kontaminantů obsažených v plynu, velikost částic µm, kolik částic/m3 exprimuje, pro stlačený vzduch, obvykle také exprimovaný z hlediska toho, kolik mg/m3 nevyhnutelných pevných zbytků, což pokrývá obsah oleje.
Klasifikace velikosti znečišťujících látek: Částice znečišťujících látek, hlavně odkazují na děrování potrubí, opotřebení, koroze generované kovovými částicemi, atmosférické částice sazí, jakož i mikroorganismy, fáze a kapičky plynu obsahující vlhkost atd.
a) Velké částice - velikost částic nad 5 μm
b) Částice-průměr materiálu mezi 0,1 μm-5μm
C) Ultramicro částice-velikost částic menší než 0,1 uM.
Za účelem zvýšení aplikace této technologie, aby bylo možné vnímat porozumění velikosti částic a μm jednotek, je poskytnuta sada specifického stavu částic pro odkaz
Následuje srovnání specifických částic
| Jméno /velikost částic (µm) | Jméno /velikost částic (µm) | Jméno/ velikost částic (µm) |
| Virus 0,003-0,0 | Aerosol 0,03-1 | Aerosolizovaný mikrodroplet 1-12 |
| Jaderné palivo 0,01-0,1 | Malování 0,1-6 | Ash 1-200 |
| Charboona černá 0,01-0,3 | Mléčný prášek 0,1-10 | Pesticid 5-10 |
| Pryskyřice 0,01-1 | Bakterie 0,3-30 | Cementový prach 5-100 |
| Cigaretový kouř 0,01-1 | Pískový prach 0,5-5 | Pyl 10-15 |
| Silikon 0,02-0,1 | Pesticid 0,5-10 | Lidské vlasy 50-120 |
| Krystalizovaná sůl 0,03-0,5 | Koncentrovaný prach síry 1-11 | Mořský písek 100-1200 |
Čas příspěvku: červen-14-2022