Proces výroby elektronických speciálních plynů zahrnuje několik procesů, jako je syntéza, čištění, plnění, analýza a testování, míchání a poměr. Aby bylo možné splnit požadavky na výrobu polovodičů pro obsah čistoty a nečistoty, je proces čištění velmi důležitý. V závislosti na složení syntézního plynu proti proudu nebo surového plynu se provádí destilace nízké teploty nebo vícestupňové čištění.
Požadavky na vysokou čistotu
Proces přípravy elektronických speciálních plynů lze rozdělit do dvou hlavních bloků přípravy a čištění syntézy proti proudu, které patří do procesu chemického výroby. Velikost výrobního potrubí je velká a neexistuje žádný zvláštní požadavek na úroveň čistoty. Po čištění po proudu je produkt naplněn plynem a smíchán pro přípravu. Produkční potrubí je malé a má požadavky na úroveň čistoty. Musí splňovat standardní specifikaci procesu výroby polovodičů.
Vysoké požadavky na těsnění
Vzhledem k jejich chemické aktivitě, elektronické speciální plyny také kladou vysoké požadavky na materiály a utěsnění systému výrobního procesu. Stejně jako požadavky na výrobu polovodičů zabraňuje úniku rozhraní způsobeného zavedením nečistot nebo korozí speciálních plynů. Systém lze také použít k zabránění zavedení nečistot nebo úniku rozhraní způsobeného korozí speciálních plynů.
Požadavky na vysokou kvalitu stability
Kvalita elektronických speciálních plynů zahrnuje řadu ukazatelů, jako je obsah částic čistoty a nečistot. Jakákoli změna v ukazatelích ovlivní výsledky procesu výroby polovodičů downstream. Proto je velmi důležitý také pro zajištění konzistence elektronických indikátorů speciálních plynů, je také velmi důležitý systém přípravného procesu pro kontrolu stability indikátorů.
Vzhledem k chemické aktivitě a požadavkům na kvalitu EGP musí výrobní systém pro přípravu EGP, zejména downstream purifikační systém, splňovat požadavky materiálů s vysokou čistotou, vysokou těsnění, vysokou čistotu a vysokou konzistenci kvality a konstrukce upravených komponent musí splňovat standardy výrobního průmyslu polovodičů.
To, co běžně označujeme jako „vysoká čistota“, je teoreticky definice čistoty látky, jako jsou plyny s vysokou čistotou, chemikálie s vysokou čistotou atd. Procesní systémy nebo komponenty procesního systému, které se aplikují na látky s vysokou čistotou, se také označují jako vysoce čisté systémy a ventily s vysokou mírou. Elektronické speciální systémy přípravy plynu vyžadují aplikační armatury s vysokou čistotou, ventily a další komponenty tekutin, tj., Armaty a ventily, které jsou zpracovávány s materiály s vysokou čistotou a čistými výrobními procesy a jsou strukturovány pro snadné čištění a čištění. S vysokým výkonem těsnění. Tyto komponenty tekutin jsou navrženy tak, aby splňovaly cestu průtoku procesu aplikace pomocí inženýrských a konstrukčních požadavků polovodičového průmyslu.
Potrubí s vysokou čistotou
Připojení těsnění obličeje VCR kovové těsnění a automatické vodicí příručky pro připojení svaru zadek se široce používají při náročných požadavcích na proces čistoty tekutého systému kvůli schopnosti splňovat jak hladký přechod průtokové cesty ve spojení, bez stagnační zóny a vysoký výkon těsnění. Opakovatelné a konzistentní připojení a výkon těsnění je zajištěn pokaždé, když je deformované těsnění odstraněno a vyměněno.
Trubky jsou svařovány pomocí automatického orbitálního svařovacího systému. Trubka je chráněna plynem s vysokou čistotou uvnitř i vně. Elektroda wolframu se otáčí podél oběžné dráhy pro vysoce kvalitní svařování. Plně automatizované orbitální svařování roztaví trubku bez zavedení jiných materiálů, dosažení vysoce kvalitního svaru opakovaného ovládání tenkostěnné potrubí je obtížné dosáhnout manuálním svařováním.
VCR kovové těsnění těsnění těsnění
Automatické svařovací připojení potrubí
Ventily s vysokou čistotou
Chemická aktivita hořlavých, výbušných, korozivních a toxických elektronických speciálních plynů klade vysoké požadavky na utěsnění ventilu. Aby se zlepšila spolehlivost těsnění, požadavek na bezbalovací ventily, aby se zabránilo vnějšímu úniku, tj. Provoz přepínání stonku ventilu a tělesem ventilu mezi těsněním pomocí kovových měch nebo kovové bránice, aby se odstranil únik v důsledku otěru a deformace těsnění. Ventily uzavřené a ventily uzavřené brány se běžně používají v procesních systémech pro aplikace s vysokou čistotou kvůli větší spolehlivosti těsnění a snadnějšímu čištění a proplachování vnitřnosti ventilu.
Ventily upevněné měchy jsou konstrukce bezbalového jehlového ventilu, která umožňuje pomalé otevření a regulaci průtoku. Používá se pro elektronické speciální plnění plynu s požadavky na bezpečnostní tok nebo na lahvech o prekurzoru s vysokými požadavky na bezpečnost. Těsnění špiček kovových stonků umožňují extrémně nízké provozní teploty a používají se pro kryogenní zkapalnění elektronických speciálních plynů v nádržích hotových výrobků po kryogenní destilaci potrubí.
Springless membránový těsnicí ventil je 1/4 ″ snap-otevřený ventil pro použití jako automaticky řízený přepínací ventil v dodávkovém potrubí. Obvykle se používají v ultra vysokých tlacích, vysoce čistých aplikacích kvůli jejich jednoduché vnitřní dráze toku, malému vnitřnímu objemu a snadnému čištění a výměně.
Ventily utěsněné membránami, které se blíží skrz špičku stonku, se mohou otevírat pomalu a používat se při vyšších provozních tlacích než ventily utahované membrány. Oni se široce používají na vysokotlakých elektronických specializovaných lahvích na plnění plynu nebo prekurzoru.
Ventil sekundárního těsnění může být použit nejen v ultralehkých teplotních procesních systémech při -200 stupňů, ale také zabraňuje úniku nebezpečného média do atmosféry. Obvykle se používá pro velmi nebezpečné elektronické speciální plyny, jako je například systém plnění Silane.
Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, s více než 10 lety zkušeností s nabídkou průmyslových a speciálních plynů, materiálů, systémů dodávek plynu a plynového inženýrství pro polovodič, LED, DRAM, TFT-LCD trhy, můžeme vám poskytnout potřebné materiály, jak tlačit vaše výrobky do předního průmyslu. Můžeme nejen dodat širokou škálu ventilů a armatur pro polovodičové elektronické speciální plyny, ale můžeme také navrhnout instalaci plynového potrubí a zařízení pro naše zákazníky. Pokud máte v této oblasti nějaké potřeby, kontaktujte nás na čísle 27919860.
Čas příspěvku: Jul-19-2023