Jak roste polovodičový trh, standardy pro čistotu a přesnost se stávají přísnějšími. Jedním z určujících faktorů v kvalitě výroby polovodičů jsou plyny použité v procesu. Tyto plyny hrají ve výrobním procesu mnoho rolí, včetně:
Přesnost řízení procesů
Prevence kontaminace
Vylepšení metalurgického vlastnictví
Aby bylo možné tyto role efektivně vykonávat, musí být systém dodávek a distribuce plynu efektivní. Konstrukce systémů manipulace s plynem používanými ve výrobě polovodičů musí být podporována robustními komponenty a přizpůsobenými sestavami, aby byla zajištěna spolehlivá a vysoce kvalitní výroba polovodičů.
Plyny používané při výrobě polovodičů
Proces výrobních polovodičů vyžaduje použití různých plynů v různých stádiích procesu.
Zatímco běžné plyny, jako je dusík, vodík, argon a helium, mohou být použity v jejich čisté formě, některé procesy mohou vyžadovat specializované směsi. Silany nebo siloxany, hexafluoridy, halogenidy a uhlovodíky jsou některé speciální plyny používané při výrobě polovodičů. Mnoho z těchto plynů může být nebezpečné nebo vysoce reaktivní a vytvářet výzvy při výběru a návrhu komponent pro plynové systémy.
Zde je několik příkladů:
\ Vodík a helium mohou snadno unikat z potrubí a montážních systémů kvůli jejich malé atomové velikosti a hmotnosti.
\ Silanes jsou vysoce hořlavé a mohou spontánně spálit (autoignite) ve vzduchu.
\ Difluorid dusíku používaný při depozici, leptání a fázi čištění komory se stává silným skleníkovým plynem, když unikne do životního prostředí.
\ Vodíkový fluorid (leptací plyn) je vysoce korozivní pro kovové potrubí.
\ Trimethylgallium a amoniak mohou být obtížně zvládnutelné - malé kolísání jejich teplotních a tlakových požadavků mohou ovlivnit proces depozice.
Řízení podmínek procesu pro minimalizaci negativních účinků těchto plynů musí být během návrhu systému nejvyšší prioritou. Stejně důležité je během procesu sestavení používat komponenty nejvyšší kvality, jako jsou membránové ventily AFK.
Řešení výzev pro návrh systému
Plyny polovodičových stupňů jsou ve většině případů vysoké čistoty a poskytují inertní podmínky nebo zvyšují reakce v různých stádiích výrobního procesu, jako jsou leptání a depoziční plyny. Únik nebo kontaminace takových plynů může mít negativní účinky. Proto je rozhodující pro systémové komponenty, které se bývaly hermeticky utěsněné a odolné proti korozi, a také pro hladké povrchové úpravy (elektrolytické leštění), aby se zajistilo, že neexistuje žádná možnost kontaminace a že lze udržovat extrémně vysokou úroveň čistoty.
Kromě toho lze některé z těchto plynů zahřívat nebo ochladit, aby se dosáhlo požadovaných podmínek procesu. Dobře izolované komponenty zajišťují kontrolu teploty, což je rozhodující pro efektivní výkon finálního produktu.
Od zdrojového vstupu do bodu použití podporuje široký rozsah komponent AFK ultra vysokou čistotu, teplotu, tlak a kontrolu toku potřebného v polovodičových čistých a vakuových komorách.
Navržené systémy s kvalitními komponenty v polovodičových fabs
Role kvalitních komponent a optimalizace návrhu je kritická pro přesnou kontrolu a bezpečné výrobu polovodičů. Použité komponenty musí být robustní a bez úniku, aby odpovídaly různým procesním podmínkám potřebným v různých stádiích výroby. Vysoce kvalitní ventily AFK, armatury, regulátory, potrubí a těsnění se vyznačují následujícími vlastnostmi:
Ultra vysoká čistota
Utěsnění bez úniku
Izolace kontrolovaná teplotou
Řízení tlaku
Odolnost proti korozi
Elektrolytické leštící ošetření
Čas příspěvku: OCT-09-2023