Používání plynů v polovodičovém průmyslu sahá až do počátku 50. let 20. století. Během procesu výroby polovodičů se plyny používají hlavně k čištění a ochraně polovodičových materiálů, aby byla zajištěna jejich čistota a kvalitu. Mezi nejčastěji používané plyny patří dusík a vodík.
Jak se polovodičová technologie vyvíjela a výrobní procesy se nadále zlepšovaly, zvýšila se poptávka po plynech. V roce 1970 se další vývoj technologie výroby polovodičů, použití plynů v klíčových procesech, jako je leptání a ukládání tenkých filmů postupně, se zvyšovaly a fluoridové plyny (např. SF6) a kyslík se běžně používaly leptané a depoziční plyny. 1980 došlo k dalšímu zvýšení poptávky po plynech s vývojem integrovaných obvodů a zvýšením poptávky po nich. V výrobním procesu byl široce používán vodík, včetně žíhání vodíku a depozice vodíkových páry. A od roku 1990 do současnosti se poptávka po vysoce čistých plynech a specifických plynech zvýšila, protože se polovodičové velikosti zařízení nadále zmenšovaly a byly zavedeny nové procesy. Například aplikace extrémní ultrafialové litografie (EUV) vyžaduje použití extrémně vysoce čistých plynů, jako je dusík a vodík.
Polovodičový plyn se stále zvyšuje s vývojem souvisejících produktů řízených stále více a více produktů, zatímco plyn také patří ke zdroji nebezpečí, takže produkty používané pro dekompresi plynu, produkty pro detekci plynu a zabraňují přípravkům pro únik plynu, jako jsou regulátory tlaku, plynné ventily, detektory plynu, detektor plynu atd., A jejich role jsou následující: a jejich role jsou jako následující: a jsou následující: a jejich role jsou jako následující: a jsou následující: a jejich role jsou jako následující:.
Regulátory tlaku: Regulátory tlaku jsou zařízeními používaná k řízení tlaku plynu. Obvykle se skládají z regulátorového ventilu a tlakového senzoru. Regulátory tlaku mají vysokotlaký vstup plynu a stabilizují tlak výstupního plynu nastavením ventilu tak, aby splňoval specifické požadavky na aplikaci. Regulátoři tlaku se široce používají v oblastech, jako je průmysl, výroba a laboratoře, jakož i v polovodičovém průmyslu, mimo jiné, aby zajistili stabilitu a bezpečnost dodávky plynu.
Plynové ventily: Plynové ventily se používají k řízení toku plynů a k uzavření průchodů plynu. Obvykle mají funkci zapnutí/vypnutí, která otevírá nebo uzavírá průtok plynu. Existují různé typy plynových ventilů, včetně manuálních ventilů, elektrických ventilů a pneumatických ventilů. V plynových systémech se široce používají k řízení toku, tlaku a průtoku plynů.
Měřiče tlaku plynu: Pro měření hladiny tlaku plynu se používají měřidla plynu. Obvykle jsou instalovány na kritických místech v plynových systémech, aby monitorovaly změny tlaku a zajistily, že jsou v bezpečných limitch. Měřiče tlaku plynu se široce používají v průmyslu, výrobě a laboratořích a také se zapojil polovodičový průmysl.
Detektory úniku plynu: Detektory úniku plynu se používají k detekci úniků v plynových systémech. DetekujíPřítomnost úniku plynu a zvuk alarmu, aby bylo možné podniknout včasné opatření, aby se zabránilo únikům nehod. Detektory úniku plynu se široce používají v průmyslových, chemických, ropných a plynových aplikacích a také se zapojil polovodičový průmysl.
Čas příspěvku: únor-20-2024