Různé chemikálie a plyny používané při výrobě polovodičů vyžadují pro nepřetržité zásobování v každé fázi výroby robustní tekuté systémy. Tyto tekuté systémy musí být schopny podporovat extrémní procesní podmínky potřebné pro výrobu polovodičů a zároveň zajistit čistý proces bez úniku a kontrolovaný proces. Proto je výběr komponent systému tekutin rozhodující při výrobním procesu přesného polovodiče.
Výběr vysoce kvalitních komponent tekutiny je synonymem pro zvýšenou účinnost výroby a sníženou prostojem systému. S ohledem na proces výroby polovodičů budeme diskutovat o kritické roli komponent tekutin a důležitosti jejich spolehlivosti.
Význam komponent systému tekutin ve výrobě polovodičů
Komponenty tekutých systémů ve výrobě polovodičů zahrnují různé chemické míchání, předávání a kontrolní systémy pro bezpečné přepravu chemických tekutin v kontrolovaném prostředí. Ideální tekutina má:
➢ Jednotné smíchání chemického
➢ Kontrola kontaminace
➢ Temperature a regulace tlaku
➢Interrupted Chemical Supply
Pouze nejvyšší kvalitní komponenty mohou poskytnout takové ideální podmínky v polovodičovém tekutinovém systému. Mezi výhody používání takových složek patří:
Přesné: Komponenty, jako jsou ventily, regulátory a čerpadla, fungují v tandemu, aby se zajistilo, že správný podíl chemikálie je dodáván do výrobní buňky. Přesné vstupy eliminují riziko změn toku, což zlepšuje kvalitu konečného produktu.
Kompatibilita a čistota: Komponenty tekutého systému s kompozicemi materiálu, které jsou kompatibilní s procesními tekutinami, snižují riziko kontaminace. Kromě toho instalace těchto komponent systému tekutin bez úniku snižuje kontaminanty částic a poskytuje čisté a kontrolované výrobní prostředí pro zlepšené výnosy.
Bezpečnost: Plyny a chemikálie používané při výrobě polovodičů mohou být škodlivé pro lidské zdraví. Komponenty tekutého systému určené k zabránění úniku a úniků však mohou tyto tekutiny dodávat do výrobních jednotek bezpečným a kontrolovaným způsobem.
Účinnost: Konstrukce bez úniku a přesná kontrola vysoce kvalitních komponent systému tekutin minimalizuje provozní prostoje a časté požadavky na údržbu a podporuje hladkou a efektivní výrobu pro splnění výrobních cílů.
Kvalita vyráběná řešení pro tekutinové systémové řešení
Komponenty tekutého systému vyžadují vysoce kvalitní instalace, aby splňovaly výzvy polovodičové výroby. Mezi klíčové komponenty, které ovlivňují Fab, patří:
Ventily: Vysoce výkonné ventily, jako je membrána, měchy nebo jehlové ventily, ideálně regulují tok tekutin ve výrobních zařízeních. Odolné, vysoce kvalitní ventily poskytují přesnost a kontrolu potřebnou ke zlepšení účinnosti procesů výroby a manipulace pro kritickou polovodičovou výrobu.
Fittings: Vysoce čistoty pro hadicové a hadicové systémy a další kritické komponenty poskytují utěsněné spojení pro zvýšení bezpečnosti a čistoty komponent tekutiny.
Hadice: Pro přesné požadavky na výrobu pomáhají izolované hadice při tepelném řízení, aby bylo možné optimálně udržovat podmínky procesu ve výrobní místnosti. To je důležité, protože sebemenší kolísání teploty může poškodit čipy a vést k produkčnímu odpadu.
Flexibilní hadičky: Tam, kde podmínky umožňují, lze použít flexibilní hadičky ke snížení počtu armatur v sestavě tekutého systému. Trubka je ohnuta k získání požadované dráhy tekutiny. Méně kování znamená menší riziko úniku a poškození v důsledku vibrací a pohybu.
Regulační orgány: Regulační orgány účinně řídí tlak v každé fázi výrobního procesu polovodiče. Konstantní a přesný tok dosahuje konzistentních, vysoce kvalitních výnosů a vyhýbá se plýtvorným chemikáliím a speciálním materiálům.
Filtry: Jedna částice může ovlivnit výkon polovodiče. Použití filtrů ultra vysoké čistoty eliminuje kontaminaci částic a minimalizuje poškození čipů.
Efektivita tekutého systému při výrobě polovodičů lze dosáhnout pomocí široké škály vysoce kvalitních ventilů, armatur, regulátorů, hadic a filtrů AFK-Lok.
Čas příspěvku: OCT-09-2023