Zařízení pro úpravu ocasu může zpracovávat plyny používané při leptání a procesech depozice chemických párů v polovodičovém, kapalném krystalu a solární energii, včetně SIH4, SIH2CL2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O a THON.
Metoda zpracování výfukových plynů
Podle charakteristik ošetření výfukových plynů lze léčbu rozdělit na čtyři typy léčby:
1. Typ promývání vody (ošetření korozivních plynů)
2. oxidační typ (zabývající se hořlavými a toxickými plyny)
3. adsorpce (podle typu adsorpčního materiálu pro řešení odpovídajícího výfukového plynu).
4. Typ spalování plassma (lze ošetřit všechny typy výfukových plynů).
Každý typ léčby má své vlastní výhody a nevýhody a také rozsah aplikace. Když je metoda ošetření praní vody, je zařízení levné a jednoduché a dokáže zvládnout pouze plyny rozpustné ve vodě; Rozsah aplikací typu promývání elektrické vody je vyšší než rozsah typu praní vody, ale provozní náklady jsou vysoké; Suchý typ má dobrou účinnost léčby a není použitelný na tok plynu, který lze snadno ucpat nebo tekoucí.
Chemikálie a jejich vedlejší produkty běžně používané v polovodičovém průmyslu lze kategorizovat podle jejich chemických vlastností a jejich různých rozsahů:
1. Hořlavé plyny, jako je SIH4H2, atd.
2. toxické plyny, jako je ASH3, PH3, atd.
3. korozivní plyny, jako je HF, HCI, atd.
4. Skleníkové plyny, jako je CF4, NF3 atd.
Protože výše uvedené čtyři plyny jsou škodlivé pro životní prostředí nebo lidské tělo, musí zabránit jeho přímé emisi do atmosféry, takže obecná polovodičová rostlina je instalována s velkým centralizovaným systémem úpravy výfukových plynů, ale tento systém je pouze výfukové plynné plyny vody, takže jeho použití je omezeno na plynné plyny s dlouhým rozdílem ve vodě, a to je stále měnící se sémoduktorové plyny. Proto je nutné vybrat a odpovídat odpovídajícím zařízením pro zpracování výfukových plynů podle charakteristik plynu odvozených z každého procesu, aby se problém s výfukovým plynem vyřešil malým způsobem. Vzhledem k tomu, že pracovní oblast je většinou mimo systém úpravy centrálního výfukového plynu, často kvůli charakteristikám plynu vede k krystalizaci nebo akumulaci prachu v potrubí, což vede k ucpávání potrubí vedoucí k úniku plynu a ve vážných případech dokonce způsobuje explozi, nemůže zajistit, aby pracovní bezpečnost pracovníků. Proto v pracovní oblasti musí nakonfigurovat malé zařízení pro zpracování výfukových plynů vhodné pro vlastnosti procesního plynu, aby se snížila stagnující výfukový plyn v pracovní oblasti, aby se zajistila bezpečnost personálu.
Čas příspěvku: srpen-10-2023