1 | Max.pracovní tlak 20,6 Mpa. |
2 | Max.pracovní teplota 204 ℃ (vysokoteplotní prostředí až 454 ℃, v této době je těsnicí materiál nahrazen expandovaným grafitem) |
3 | Filtrační systém Lze použít znečišťující částice, plyny, kapaliny. |
4 | Přesnost filtru se sintrovaným filtrem z nerezové oceli práškovou metalurgií 2μm~40μm |
5 | Průtok filtru 1x 10 -6~1×10-2L/min.cm2.pa |
6 | Filtr lze vyměnit. |
Vlastnosti produktu Filtr
1 | Široký rozsah použití, rozsah průtoku od 15 do 300 SL / min. |
2 | Má dobrou kompatibilitu s většinou vysoce čistých polovodičových procesních plynů. |
3 | 3 Kapacita filtrace nanočástic udržuje vysokou účinnost průtoku a ultra malý pokles tlaku. |
4 | 5Ra elektrolyticky leštěný povrch může zabránit vnitřnímu znečištění. |
5 | Pečte s horkým dusíkem po deionizované vodě, abyste splnili standardy polovodičového procesu. |
6 | Bezprašné aseptické dílenské prostředí s 1000 úrovněmi, čištění a balení. |
7 | Test na 100% únik helia. |
Vstup | Outlet | |
1 | Trubková armatura 1/8″ | Trubková armatura 1/8″ |
2 | 1/4″ trubková armatura | 1/4″ trubková armatura |
3 | Trubková armatura 3/8″ | Trubková armatura 3/8″ |
4 | 1/2″ trubková armatura | 1/2″ trubková armatura |
5 | 6MM trubková armatura | 6MM trubková armatura |
6 | 8MM trubková armatura | 8MM trubková armatura |
7 | 10MM trubková armatura | 10MM trubková armatura |
8 | 12MM trubková armatura | 12MM trubková armatura |
9 | 1/8″ samice NPT | 1/8″ samice NPT |
10 | 1/4″ samice NPT | 1/4″ samice NPT |
11 | 1/4″ samec NPT | 1/4″ samec NPT |
12 | 3/8″ samec NPT | 3/8″ samec NPT |
13 | 1/2″ samec NPT | 1/2″ samec NPT |
Parametry výkonu produktu filtru
1 | Přesnost filtrování | ≥0,0025μm | |
2 | Účinnost filtrace | Rychlost odstraňování99,99999%≥0,0025μm | |
3 | Jmenovitý průtok | 15 l/min | |
4 | 60 l/min | ||
5 | 120 l/min | ||
6 | 200 l/min | ||
7 | 300 l/min | ||
8 | Složení filtru | filtrační prvek | 316L/PTFE |
9 | bydlení | nerezová ocel 316L | |
10 | Pracovní podmínky | Maximální vstupní tlak | 21 MPa (310 kgf/cm2) |
11 | Maximální diferenční tlak | 15 MPa (153 kgf/cm2) | |
12 | Maximální provozní teplota | 430 ℃ (inertní plyn) | |
13 | Rychlost úniku helia | 1×10-9 atm.cc/sec | |
14 | Povrchová úprava | ≤Ra 5μin |